制冷無油真空泵借助于外置冷卻器使氣體自動進行循環冷卻轉子與泵體，泵可在很高的壓差下連續工作，而不會發生熱過載，泵可直接排大氣。該泵具備普通真空泵的諸多優點，可與前級泵串聯使用，也可單獨使用。
當泵單獨使用時，可直接利用排氣口低溫的大氣返回泵內冷卻而不使用冷卻器，大泵可獲得約130百帕的真空。（制冷無油真空泵