低溫無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能好的滿足需要。看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，要用的材質才能滿足需求。