一般來說，在對無油真空泵內部進行清洗的時候，通常是對它進氣過濾的清洗，過濾消聲器過濾棉的清洗很重要，它直接影響了真空泵的流量和運用壽命。頻率為一個月一次，在整理之前，先將消聲器擰下，然后取出過濾棉，用水清沖洗潔凈之后，晾干在進行安裝運用。如果過濾棉運用時間過久，已經無法清洗潔凈，就要替換過濾網。