活塞旋片式真空泵由于存放或使用不當，水分或其他揮發性物質進入泵內而影響真空室時，打開氣鎮閥凈化，當泵油受到機械雜質或化學雜質污染時，應更換泵油，步驟如下:
先開泵運轉一段時間，使油變稀，停泵，旋下放油塞，放凈再敞開進氣口運轉一分鐘，此間可從進氣口緩慢加入少量的真空泵油，沖洗泵芯，臟油放完后將放油塞旋上、擰緊，從加油孔加入清潔的真空泵油，并從進氣口加入真空泵油。
如停泵時間較長，應用橡皮塞、帽、把進排氣口塞好，以免臟物等進入泵內，水冷的泵應放凈積水。
1.真空泵須經常保持清潔，防止雜物進入泵內。
2.注意皮帶松緊是否適當，每三個月調整一次。
3.管道接頭是否漏氣，及時避免。